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曝光机和光刻机的区别,刻蚀机和光刻机的区别

来源:整理 时间:2022-04-07 18:29:22 编辑:华为40 手机版

光刻机制造的芯片和蚀刻机制造的芯片都有哪些区别?

光刻机制造的芯片和蚀刻机制造的芯片都有哪些区别

我是睁眼看科技,很高兴回答这个问题。首先,我先表明我的观点,题主的问题根本就没有答案,为什么这样说呢,下面我来解释一下。我想题主可能对芯片制造有误解,它并不是仅依靠光刻机或者仅依靠蚀刻机就能制造出来的,光刻机和蚀刻机在芯片制造都会用到,只是先后顺序的问题。所谓的光刻机全名叫掩膜对准曝光机,它的工作过程非常复杂,非专业人士很难理解,我简单说一下光刻机的制造原理,首先我们要知道光刻胶,这种胶有一种特性,就是它只能被光腐蚀而不能被任意化学物质腐蚀,光刻就是在制作好的硅圆表面涂上光刻胶,然后用光通过掩膜照到硅圆表面,有光刻胶的部分就会被腐蚀掉,没有光刻胶的就会保留下来,这样就形成了栅极,也就是晶体管,我们常说的CPU中集成了上亿的晶体管,就是通过光刻机实现的。

蚀刻机的工作原理跟光刻机其实差别不大,都是通过腐蚀完成的,把经过光刻机处理的硅圆,通过化学溶液,进一步腐蚀掉其中不要的部分,留下的就是我们需要的电路结构。通俗的说,光刻机的作用是制作一个大致的模型,而蚀刻机对模型进一步打磨,完成我们想要的模型结构。不过相对来说光刻要比蚀刻难度要大很多,目前世界上最先进的光刻工艺达到7nm,而5nm工艺正在实验阶段,估计会很快面世,而中国最先进的光刻机只到达90nm,差距还是非常大的,光刻机的产量很低,7纳米的光刻机年产量也只有12台,一台达到上亿美元。

中国中微造出3nm刻蚀机,与荷兰ASML光刻机还有多大差距?

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科学的东西太尖端、绕口令似的解释,咱也听不明白,打个比方跟您说吧。光刻跟蚀刻是两种不同领域里使用的技术,光刻机和蚀刻机就是那不同领域里进行作业的工具,虽然他们进行的是同一个产品作业,但工序不一样。就像做一件衣服,光刻是在设计样式、尺寸并绘制图形,蚀刻是进行分割、裁剪。一件衣服究竟怎么样,不仅看设计的好不好,线条划没划歪;也要看分割得好不好,剪没剪走形。

文章TAG:机和光刻机刻蚀曝光

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