用以使高频电磁场在其内持续振荡的金属空腔被称为谐振腔（Resonant）而电磁场的绝大多数都集中于腔内，辐射损耗较低，因此较高的品质因数（品质因子可定义为在一系统的共振频率下，当信号振幅不随时间变化时，系统储存能量和每个周期外界所提供能量的比例，谐振腔的品质因数很高，可达几千或几万甚至数十万）在谐振腔内，电磁场可以以多种特定频率下存在，其频率大小与谐振腔的形状、几何尺寸及谐振的波型有关，因此可以通过设计特殊形貌的谐振腔获得特定的电磁波模式。
谐振腔有较多种类，最常见的是矩形谐振腔和圆柱形谐振腔。谐振腔可以认为是一个任意形状的由导电壁（或导磁壁）包围的，并能在其中形成电磁振荡的介质区域。不妨考虑理想谐振腔以明确其原理，在理想的无耗谐振腔内，任何外界输入的电磁扰动（外界输入的信号引起谐振腔中最初的电磁场）一旦发生就永不停歇。当该扰动频率恰使腔内的平均电能和平均磁能相等时便发生谐振，这个频率称为谐振频率。
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