如何看待国产5nm刻蚀机通过验证？前段时间国内研发成功紫外超分辨SP光刻机的消息刷屏了，使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm，它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局，而且这套设备的价格只要1000-2000万元，不到EUV光刻机的2%...
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