被“卡脖子”的离子注入机实现国产化，这种装备是干什么的？在硅片上要做一个三极管（或场效应管），要分好几层，每一层先要做掩膜（即涂光敏光刻胶，再用光刻机对需要的部分曝光），然后通过化学手段去除曝光部分，再利用离子注入机对该部分进行离子渗透参杂，使之成为半导体（P型或者N型），以此类推...
离子注入机,科技简章020
