华为有没有能力研究光刻机？这么说吧，研究和制造原子弹比高端光刻机简单，你能造的出原子弹，不一定能造出光刻机，各种高精度零部件，软硬件是全球凑起来的最顶级，试想一下，这么肥的蛋糕为什么美国不去吃？还是因为吃不下，成本太高。EUV的光路系统应该是反射镜组。透射紫外或极紫外的光学材料太少了。包括镜头材料，膜系，胶系。同时微缩百万倍的光学系统消像差只能采用非球面加工（计算机控制）。另辟新径，提高分辨率可采用粒子光源（射线光源）。也可研究非线性晶体对现有短波长激光进行倍频，四倍频转换以获得更短波长的光源。目前没有一...
更新时间：2022-04-11标签： 球焊盐城金丝直奔智能 全文阅读